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中钢网新闻中心钢市纵横行业技术活性屏等离子体源渗氮技术

活性屏等离子体源渗氮技术

分享打印 2015-04-13 11:33 编辑:薇薇     来源: 行业技术     字体: [大][中][小]    

   等离子体渗氮技术已经获得广泛的应用,但由于等离子体直接在工件表面产生,会造成工件表面电弧烧损以及边缘效应和空心阴极效应等固有的技术缺陷,制约了这种技术的推广应用。在20世纪末,卢森堡工程师提出了一种新的等离子体渗氮技术,即活性屏等离子体源渗氮技术( Active screen plasma nitriding) 。这种技术是在渗氮真空室内增加一个金属屏为阴极,金属屏上施加直流/脉冲电压,在金属屏与真空室炉体内壁之间发生辉光放电,产生直流/脉冲等离子体,工件置于金属屏内,并处于悬浮电位或施加低的负偏压。金属屏在渗氮过程中具有两个作用: 一是等离子体加热金属屏,通过热辐射将工件均匀加热至渗氮处理需要的温度; 二是作为等离子体源向工件表面提供渗氮所需的混合了离子、电子、以及其它中性粒子的活性渗氮源,完成渗氮过程。

在活性屏等离子体源渗氮过程中,离子轰击铁质金属屏,溅射出铁原子,在等离子体压降区与活性氮原子结合形成氮化铁,部分氮化铁运输到工件表面,在离子轰击和热激活作用下,氮化铁分解析出的氮原子向工件内渗入,形成渗氮层。与常规离子渗氮技术相比,活性屏等离子体源渗氮技术消除了常规离子渗氮技术中工件表面存在的油脂和铁锈造成的电弧烧损; 降低了炉内温度分布不均匀和边缘效应造成的不均匀渗氮效果; 避免了工件几何形状具有小尺寸孔径或沟槽引起的空心阴极效应; 具备对聚合物和陶瓷等非导电性材料进行改性的能力,并且工件表面可以沉积扩散金属屏含有的合金元素,进行表面合金化处理。因此,活性屏等离子体源渗氮技术具有着明显的设备和工艺优势,适用于多种材料表面的硬化处理,降低了对工件几何尺寸的要求,具有极大的应用潜力,已经成为国际研究的一个热点。
活性屏等离子体源渗氮技术已经成功应用于不同材料的表面改性处理,包括低合金钢、不锈钢、工具钢、聚合物以及抗菌功能材料等。采用活性屏等离子体源渗氮技术处理不同的钢、功能合金、以及聚合物材料,获得了高表面硬度、高抗疲劳性能和良好耐磨抗蚀性能的改性层。例如,用该技术对FINEMET软磁合金进行渗氮,明显提高了合金的显微硬度和电阻系数;用该技术对AISI 420不锈钢进行渗氮,形成厚达40微米的硬化层,HV达1050 ~ 1350,显著提高了材料的硬度和耐磨抗蚀性能;用该技术对AISI 4340低合金钢进行渗氮,所得到的材料其使用寿命相对于未改性的提高了 74%。用该技术对AISI 316不锈钢进行渗氮,得到厚12 ~ 60微米的硬化层,硬度达HV 1050 ~ 1220,显著提高了奥氏体不锈钢耐磨抗蚀性能;用该技术对医用 316不锈钢进行渗氮,结果在材料表面形成15微米厚含 Cu 的多层膜,其相结构为: ( Fe,Cr,Ni)3N +γ-M4N( M = Fe,Cr,Ni,Cu) +γN,使该医用不锈钢表面具有优良的抗菌灭菌能力。(钢研)

 

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